本文从ICP-MS仪器的各个结构组成,介绍了ICP-MS仪器硬件的发展历史和展望,其中重点讨论了ICP-MS进样系统、离子透镜和池技术的发展现状和趋势。越来越多的ICP-MS配置了提升量小、雾化效率高的雾化器,Peltier效应半导体精密控温雾室以及可拆卸式的炬管,而直角偏转的离子透镜也逐渐成为潮流,这些因素提高了ICP-MS在分析高盐样品时的长期稳定性的同时,降低了仪器维护的频率和难度。