对电子探针试样进行表面喷碳，其厚度一般掌握在200-250A左右，此处还应使标样和未知样取得尽量一致的膜厚(质量厚度)。目前多数实验室采用白瓷片等作模拟样品，蒸镀中凭肉眼的观察比色来掌握控制膜厚。也有少数实验室采用了一些别的方法，如加拿大A Iberta大学以干净玻璃片作作模拟样品，通过监测其表面碳膜电阻的变化来掌握控制膜厚。