我们曾对普通样品台进行了改造,使得电子束感生电流信号(EBIC)的观察简易可行,此方法有四个自由度移动样品,“R”旋钮起开关作用,p—n结的引线接于样品台上。本文在上述研究的基础上加以改进,提出一种实用的电子束感生电流样品台,它解决了前者EBIC信号引出方法的弊端,不需接引线,样品移动不受限制。更多还原