扫描探针显微镜(SPMs)经过近30年的发展,已经应用到科学研究的各个方面.为适应不同研究的需要,扫描探针显微镜本身的发展也非常迅速.如其中原子力显微镜(AFM)从发明初期的单一的接触工作模式发展到包括可以测量粘弹性的相位模式在内的多种工作模式,同时通用型方面也高度发展,已经形成了一个庞大的高度自动化的扫描探针显微镜的家族.在这个家族中,严格环境控制的扫描探针显微镜的出现,很好的解决了各种条件下对样品的原位观察,环控化扫描探针显微镜的发展已经引起了人们的足够重视,必将成为扫描探针显微镜发展的一个重要方向.新近出现的各种显微镜集成的扫描探针显微镜系列是这个家族中的新成员,这个成员可以同时完成大范围、高分辨和精确定位等各种研究,必将在半导体制造厂的异物检查、金属和绝缘体等表面测定以及生物大分子研究等