真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求，规划了真空系统的构成，设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式，缩短真空抽气时间，提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换，通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试，能够达到预定的真空度要求。