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0.6328μmHe-Ne激光器小数重合法大尺寸绝对距离测量方法的研究

作者: 周秀云 来源:中国测试技术 日期: 2022-07-21 人气:2
0.6328μmHe-Ne激光器小数重合法大尺寸绝对距离测量方法的研究
本文介绍了以小数重合法为基础的大尺寸绝对距离干涉测长的原理,并着重分析了两种测量方法外差法和拍波法.
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