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> 微技术
微技术中使用的液体夹钳
作者:
大舟
来源:
内蒙古科技大学学报
日期: 2022-08-28
人气:5
微系统工程的开发中,主要难题是制作极其微小的元件以及它们的装配。其中,夹持工艺起着决定性的作用,因为使用通常的技术,可能会损坏这些微小的结构。最近,夫琅 霍费生产技术与自动化研究所研制出一种用于微系统的粘附钳手,用酒精作为粘附液。
关键词:
液体夹钳
微技术
微系统
微机械
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