研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路二涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力，仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。