用来替代哈勃望远镜的下一代太空望远镜(NGST)的开发和部署是美国航空与航天局(NASA)为推进宇宙探索的一个挑战性项目.NGST上装配一个包括0.6～5μm多目标分光计的照相机/分光计系统.为从太空的不同区域有选择地将光线引导至分光计,采用可独立寻址的微电子机械反射镜阵列作为分光计的狭缝掩模.Goddard太空飞行中心的NASA小组设计了一套能够满足系统要求的集成微反射镜阵列(MMA/CMOS)驱动器芯片.样机的芯片构造和检测结果均符合预期要求.欲构建完全基于MEMS的狭缝掩模,设计要求4片大规模集成芯片以2×2镶嵌方式精确排列(至少为9cm×9cm).另外,必须在低于40K温度条件下掩模才能发挥作用.上述要求对集成MEMS芯片的封装提出了严峻的挑战.本文对2×2掩模中的大面积MEMS芯片的粘附、调整定位以及将其与系统的其他部分互连的构想进行了讨论.用倒装技术将大面...

概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式，以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式，介绍了其机电特性和工艺特点，并进行比较分析，指出选择驱动方式应依据应用的性质、工艺集成难度和成本效益原则。总结了微反射镜阵列器件在5个方向的应用。最后，阐述了微反射镜阵列器件技术展望。