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> 横向热执行器
双向横向热执行器结构设计
作者:
单建华
林丙涛
汪小华
孔德义
梅涛
褚家如
来源:
微细加工技术
日期: 2022-07-26
人气:7
在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析.
关键词:
横向热执行器
微机电系统
有限元
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