扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是一种可以在实空间观察到原子级分辨率图像的实验仪器，且发展出许多衍生仪器，如原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）等，统称为扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。但是以往人多数ＳＴＭ是在室温条件下工作的，不能实时观察样品随温度变化的情况。本文介绍德国Ｏｍｉｃｒｏｎ公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜（ＶＴ ＵＨＶ ＳＰＭ），它包括ＳＴＭ和ＡＦＭ两部分，可以在２５Ｋ～１