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76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制
作者:
王亚非
袁敬闳
来源:
压电与声光
日期: 2022-08-29
人气:5
描述76MHz激光扫描声学显微镜的研究试制工作,介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明,该显微镜的分辩率达30μm,探测深度达2mm,扫描面积达3mm×4mm,并已应用于我层陶瓷电容器的无损检测。最后给一些样品的声学像。
关键词:
激光扫描
声学显微镜
无损检测
声学像
SLAM
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