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> 元件标定
关节测量臂在上海光源元件标定中的应用
作者:
柯明
于成浩
来源:
强激光与粒子束
日期: 2022-08-31
人气:1
关节测量臂以便携、高精度的小尺寸测量性能在上海光源的元件标定过程中得到了广泛应用。介绍了上海光源元件标定的方案设计,操作工艺以及质量保证措施等,着重探讨了关节测量臂的合理使用。在仪器使用过程中,利用软件的学习功能有效地提高了工作效率;通过将温度变化控制在2℃范围内,并利用标准尺及不同仪器的标定结果相互比较来控制、监测系统误差等,从而保证高精度的测量结果。
关键词:
上海光源
激光跟踪仪
关节测量臂
元件标定
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