为实现平晶平面度的快速测量，运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造。计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理，再利用所有像素样本点（约4000个）的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径玩。对平晶表面不同的检定点，测量软件均能根据其实测玩值计算平面度。改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率，且大大降低了劳动强度。