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> 微细电铸
基于UV-LIGA技术制造微结构器件试验研究
作者:
明平美
朱荻
胡洋洋
曾永彬
来源:
中国机械工程
日期: 2022-09-21
人气:3
试验研究了UV-LIGA各工艺环节(包括前后烘、曝光、显影、去胶、电铸等)对金属基片上制造金属微结构器件质量的影响,并组合优化了操作条件和工艺参数。试验结果表明:采用优化后的UV—LIGA工艺条件,制造出的金属微结构器件(如微齿轮、微流道)轮廓清晰,表面质量好,无明显缺陷,与基底结合良好。
关键词:
UV—LIGA
微结构器件
SU-8胶
光刻
微细电铸
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