三维伺服机构在柔性坐标测量系统中占有极重要的地位,在分析了其它激光跟踪机构的基础上,提出一种新型的独立式三维跟踪机构.详细论述了它的工作原理,同时也对伺服机构的加工误差、安装误差、伺服电路控制误差等进行了分析.实验证明了伺服转镜机构工作性能可靠,测量误差小,结构简单,容易控制.