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> 面内运动
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动
作者:
郭彤
胡春光
胡晓东
栗大超
金翠云
傅星
胡小唐
来源:
光子学报
日期: 2022-09-19
人气:6
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.
关键词:
微机电系统
Mirau显微干涉仪
面内运动
离面运动
频闪照明
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