设计了电容式加速度计的信号检测电路，与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试，并进行了标定。为减小体积，提高电容式加速度计的检测精度，采用厚膜混合集成工艺，将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体，并进行了电路测试和性能测试。测试数据表明，其测试精度提高了一个数量级，线性度和温度特性均有很大的改善。