为磨削加工出高精度、高质量的非球曲面器件,从理论上分析影响已加工表面粗糙度、轮廓精度的各种主要因素;设计研制一套超精密非球曲面磨削系统,其工件主轴、横溜板、纵溜板及磨头主轴均采用气浮形式,工件主轴的回转精度为0.05μm,磨头主轴最高转速为80 000 r/min,其回转精度为0.1μm,横溜板和纵溜板的直线位移分辨率可达4.9 nm,而磨头中心高微调机构可实现0.1μm的精确微调;用已经研制成功的这套磨削系统进行了非球曲面的磨削实验,结果表明,其磨削加工的零件轮廓精度为0.4μm,表面粗糙度Ra优于0.01μm。

为磨削加工出高精度、高质量的光学非球曲面器件.详尽分析了砂轮的安装及半径等误差对零件加工精度的影响.设计研制出了一套非球曲面磨削系统,并用它进行了实验研究.实验结果表明要获得高精度的非球曲面器件,只有当金刚石砂轮的平均磨粒尺寸低于10 μm,并在采用较高的砂轮线速度和较小的进给量的情况下,才能实现光学非球曲面的超精密磨削加工,经过各种磨削参数的优化选择,其非球曲面最终的零件轮廓精度为0.4 μm,表面粗糙度Ra优于0.01 μm.