在对直线运动坐标定位精度的干涉测量原理和方法进行深入研究的基础上，对干涉测量的误差进行了分析。采用激光干涉法检测了混联机床X轴的定位精度和重复定位精度，并作出了基于测量数据的混联机床X轴单向均位偏差特性曲线，推导出了X轴正、反向运动定位误差的数学模型。利用最小二乘法拟合得到了机床直线运动坐标目标位置的均值误差补偿数学模型，提出了一种直线运动坐标定位精度的激光干涉测量方法和误差补偿模型的建模方法，并对X轴的定位精度进行了补偿。