为满足透明体表面形貌定量测量的需要,研制成功了透射式微分干涉显微测量系统,该系统包括透射式微分干涉显微镜, CCD摄像机,检偏器旋转驱动部件,计算机及相关测量软件.介绍了测量原理、公式、相移干涉方法以及将一台普通反射式干涉显微镜,改装成透射式微分干涉相衬显微镜的关键技术.利用改装好的装置对几种透明体的形貌进行了重构.结果表明该系统较好地解决了透明体表面形貌的重构问题,在一般实验室条件下,无须采取任何隔振和环境控制措施,测量系统重复性、稳定性均优于2 nm,测量范围不受半个波长的限制,有广阔的应用前景.