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> 外差干涉系统
变间隔法实现三维形貌测量
作者:
于瀛洁
李鹏生
来源:
仪器仪表学报
日期: 2022-12-19
人气:1
随着生产扫展对许多工件提出了测量三维形貌要求本文提出了在较大光点间隔下实现小采样间隔三维形貌测量的方法。该方法可不改变测量系统光学结构,通过外加简单的装置改变光点间隔,从而实现小采样间隔的三维形貌测量。论文给出了相应的数学模型,测量步骤,并进行了误差分析。
关键词:
外差干涉系统
三维形貌测量
变间隔法
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