近年来,MEMS产业发展迅速.据著名的国际MEMS咨询机构约尔公司(Yole)分析, 2005年全球基于硅和石英器件的MEMS市场高达50亿美元,预计2010年将达到100亿美元(如图1所示).其产品主要包括:喷墨打印头、光MEMS(主要是数字微镜器件)、压力传感器、惯性传感器、微流控器件、RFMEMS、硅麦克风及微型燃料电池.其中硅麦克风和微型燃料电池为新出现的产品(如图2所示).