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> 梳状线振动
微型梳状线振动陀螺仪的特性研究
作者:
郭秋芬
孙枫
苗成义
来源:
仪器仪表学报
日期: 2023-08-17
人气:1
硅微陀螺仪是微机电系统研究的一个重要内容,由于其体积小(达到微米级别),许多在传统陀螺仪中忽略掉的干扰条件要重新进行评估。其中,温度对其性能的影响很大。本文通过分析温度对梳状线振动陀螺仪的影响,推出了检测轴输出幅值和相位与温度的关系。提出一种利用输出相位作为温度补差的新方法,经温度实验验证了这种方法的可行性,此方法为提高微型梳状线振动陀螺仪的性能提供了一种新的途径。
关键词:
硅微陀螺仪
梳状线振动
温度特性
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