根据机电分析动力学原理,建立了PWM悬臂电容式数字微小型加速度计摆片的机电分析动力学模型;在不同的参数下,经过对其进行大量仿真和计算,发现脉冲宽度产生突变,不再同激励加速度呈线性比例现象;分析了产生突变的原因,提出脉宽同激励加速度保持线性比例关系的必要条件,并最终调制出脉宽同激励加速度的线性关系.