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> 并行探测
非扫描并行三维共焦检测技术综述
作者:
王永红
余晓芬
俞建卫
黄其圣
徐科军
来源:
仪器仪表学报
日期: 2022-12-14
人气:3
共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用.近年来,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注,该技术将单点扫描变为多路并行探测,同步对被测表面的不同点进行检测,从而无需扫描实现全场同步测量.该文论述了近年来国内外在共焦并行全场检测技术方面的研究进展,介绍了国内外几种并行共焦检测系统的情况,及作者已进行的有关研究进展.
关键词:
三维探测
共焦
并行探测
微光学器件
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