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非扫描并行三维共焦检测技术综述

作者: 王永红 余晓芬 俞建卫 黄其圣 徐科军 来源:仪器仪表学报 日期: 2022-12-14 人气:3
非扫描并行三维共焦检测技术综述
共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势而被广泛应用.近年来,非扫描三维并行共焦技术引起各国专家的普遍关注,该技术将单点扫描变为多路并行探测,同步对被测表面的不同点进行检测,从而无需扫描实现全场同步测量.该文论述了近年来国内外在共焦并行全场检测技术方面的研究进展,介绍了国内外几种并行共焦检测系统的情况,及作者已进行的有关研究进展.
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