在'Y'型光纤一个端面上垂直放置涂有透明薄膜的玻璃片,入射光在薄膜层的上下表面处两次反射,由于光程差的存在,反射光会发生干涉.不需要测量干涉条纹,根据Fresnel反射定律,仅通过对反射光谱的分析计算,可以测出薄膜的厚度以及折射率.该方法测量精度高、速度快、对薄膜无破坏作用.膜厚测量范围为0.5至几十微米,测量误差小于7nm.