给出了一种新的极紫外（EUV）单色仪定标方法。通过测量标准气体He空阴极光源的30．38和58．43nm两条发射光谱和标定过的中心波长为13．90nm的Mo／Si多层膜反射镜的反射率峰值位置，对Mcpherson247型EUV单色仪进行波长定标，将所定的标准点在单色仪的运动轨迹上做了相应的标识，并用Origin软件进行处理，利用一元二次方程得出拟合曲线。对标定结果做了分析，得出了在12-60nm波段内，用激光等离子体光源软X射线反射率计测量多层膜反射镜反射峰值位置时，测量准确度为0．08nm，测量重复性为±0．04nm。测量误差主要来源是光源的不稳定性和机械转动误差。