扫描探针显微镜(SPM)现在不仅用于表面微观形貌的检测,同时也用于纳米超精密加工和原子操纵.该文介绍了用STM和AFM进行纳米级加工的各种最新方法针尖直接雕刻,针尖光刻加工,局部阳极氧化,原子沉积形成纳米点,原子去除形成沟槽微结构,多针尖加工, 原子自组装形成三维结构等.使用SPM的纳米级加工对发展微型机械、纳米电子学和微机电系统具有重要意义.

我们在恒流模式和扫描偏压不变的条件下，通过提高隧道电流成功地在Ｓｉ（１１１）７×７表面实现了原子操纵，这种方法具有较高的成功率和较快的操纵速率。其作用机理是：当偏压小于０．５Ｖ时，化不相互作用成为针尖和样品之间的主要作用；而当偏压大于０．８Ｖ时，场蒸发的影响则成为一个关键因素。