针对国内高精度曲率半径计量需求，研制一套激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统采用差动共焦定焦技术，利用轴向光强响应曲线的过零点精确对应物镜聚焦焦点这一特性，借助过零点对被测件的猫眼和共焦位置进行精密瞄准定位，通过干涉测长技术获取两点间的距离，继而实现曲率半径的高精度测量。该测量系统的机电控制由主控软件完成，可实现机电扫描、数据采集及数据处理，自动化程度高。实验证明，该系统定焦灵敏度高，受环境波动影响小，测量精度可达3×10^-6，满足了高精度曲率半径的计量需求。

基于高精度光学共焦定位技术研制了一种全新的非接触透镜中心厚度测量系统,该系统利用差动共焦技术的高轴向层析特性和轴向响应曲线的绝对零点对被测透镜的前表面顶点和后表面顶点分别进行精密瞄准定位;同时,利用激光干涉仪获得透镜前、后表面顶点的位置坐标;然后通过光线追迹算法计算透镜中心厚度,进而实现了透镜中心厚度的高精度非接触测量。实验结果表明,该系统测量精度高,测量标准差小于1μm,满足透镜中心厚度测量的精度要求。