二次离子质谱(seeondaryIonMassspoetrometry)是一种用于分析固体材料表面组分和杂质的分析手段。通过一次离子溅射，SIMS可以对样品进行质谱分析、深度剖析或成二次离子像。SIMS具有很高的元素检测灵敏度以及在表面和纵深两个方向上的高空间分辨本领，所以其应用范围也相当广泛，涉及化学、生物学和物理学等基础研究领域及微电子、催化、新材料、矿物研究等实用领域。