介绍了用于加工太赫兹波元件的微机械加工技术（铣削、放电加工、电铸、湿法腐蚀Si、干法腐蚀Si、厚光刻胶：SU-8和LIGA）及其最新结果。重点描述了应用于太赫兹波的器件和集成电路,如将可用于太赫兹波的各种新颖二极管、半导体纳米器件、新的高电子迁移率晶体管、毫米波集成电路、量子器件、红外器件、量子级联激光器（单极级间跃迁激光器）。基于带间跃迁量子机理的半导体器件（譬如量子级联激光器）的频率极限高于与半导体能带隙相关器件的频率,其大多数体半导体的频率可以达到10THz以上。但是,基于经典的电子扩散传输机理的二极管、三极管的高频极限则受限于渡越时间和寄生参数RC时间常数。