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变包含角平面光栅单色器光斑横移分析

作者: 吴坤 薛松 卢启鹏 彭忠琦 陈家华 邰仁忠 来源:核技术 日期: 2023-11-07 人气:2
变包含角平面光栅单色器光斑横移分析
介绍了变包含角平面光栅单色器的光路布局及结构组成,分析了影响单色器光斑横移的因素,对受力变形引起光斑横移的因素,运用有限元软件Ansys进行了数值模拟;根据模拟结果(0.33″)对单色器的相关部件加工精度进行误差分配;按照分配误差要求完成单色器结构设计、加工、组装,对单色器出射光斑横向角漂移重复精度进行了测试,结果为0.7″。
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