为了减小直线位移工作台的导轨运动误差，研究了一种基于光学原理，采用四象限光电探测器，通过计算机系统对工作台产生的导轨运动误差进行自动补偿的方法．根据补偿原理，构建了误差补偿数学模型，分析了光学系统的参数和系统输出特性之间的关系，并通过实验，阐述了影响补偿系统灵敏度的相关因素．实验表明该方法能够实现优于0．24V／μm的灵敏度，补偿精度可达到0．4％．这种方法能够有效地提高直线位移工作台的工作精度，对行程小于100mm的直线位移工作台具有一定的推广价值．