论述了透射式特征X射线测厚原理,并对样机的硬件组成特征X射线发生装置、X射线探测器、数据处理器和监控软件进行了介绍。通过对测厚样机的实验测试,结果显示测量较薄物质时测厚仪反应灵敏,测量精度较高,相对误差在±5%以内,达到设计要求。