本文阐述十六极阵列质谱计的工作原理和其特点.它体积小、质量轻、功耗低,但需要的关键技术难度高,我们结合关键技术的解决途径总结出十六极阵列质谱计的两种结构形式悬臂型和端支型,同时结合我国实际提出一种新的的结构形式--镶嵌型,最后展望了十六极阵列质谱计在航天领域、科研生产和环境监测中的应用前景.