本文阐述十六极阵列质谱计的工作原理和其特点.它体积小、质量轻、功耗低,但需要的关键技术难度高,我们结合关键技术的解决途径总结出十六极阵列质谱计的两种结构形式悬臂型和端支型,同时结合我国实际提出一种新的的结构形式--镶嵌型,最后展望了十六极阵列质谱计在航天领域、科研生产和环境监测中的应用前景.

结合我国可机加工陶瓷材料及其精密加工技术现状,提出独具特色的小型十六极阵列质谱计分析器的镶嵌式结构.根据分析器电极排列几何精度与质量范围、分辨率之间关系,提出设计要求,给出镶嵌式分析器整体和关键部件的结构设计,以及关键部件的测量结果.分析器的体积和重量为15.4 cm3和50.3 g,质量范围和质量分辨率为50 amu和1 amu.最后,展望了镶嵌式小型十六极阵列质谱计的应用前景.