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CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响

作者: 黄文胜 黄琪 赵焕东 来源:光学仪器 日期: 2023-03-16 人气:4
CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响
在傅里叶测量轮廓术中,由于CCD探测器积分离散抽样效应,将对相位的求解造成较大误差,通过理论的推导定性地解释了误差的来由,并用计算机进行了模拟计算,最后提出了减小误差的方法。
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