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> 傅里叶测量轮廓术
CCD的积分抽样特性对傅里叶变换轮廓术的影响
作者:
黄文胜
黄琪
赵焕东
来源:
光学仪器
日期: 2023-03-16
人气:4
在傅里叶测量轮廓术中,由于CCD探测器积分离散抽样效应,将对相位的求解造成较大误差,通过理论的推导定性地解释了误差的来由,并用计算机进行了模拟计算,最后提出了减小误差的方法。
关键词:
傅里叶测量轮廓术
CCD
积分抽样
相位测量
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