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> 减轻荷电
日立S-4800冷场发射扫描电镜的BSE功能
作者:
李永良
来源:
中国现代教育装备
日期: 2024-03-06
人气:2
S-4800是目前场发射扫描电子显微镜中的高端产品,其独特的电子光学设计使得该仪器在获得二次电子(SE)图像的同时,还能在图像中掺入不同比例的背散射(BSE)信号,以获得二次电子和背散射(SE+BSE)的复合图像,背散射信号的加入,既能减轻图像的荷电效应,又能增加图像的成分信息,对分析导电性差的样品,以及不同相的样品提供了方便。
关键词:
S-4800
BSE
减轻荷电
成分衬度
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