一、概述 中国计量科学研究院光学所研究建立了深紫外光谱透射比测量装置,其光谱范围覆盖（115-300）nm,可以与常用的紫外可见近红外光谱透射比测量装置的紫外光谱区域相衔接,并向真空紫外区域拓展。其测量结果的相对扩展不确定度为Urel=3.0%。相对于传统的可见光谱区域的光谱透射比测量．真空紫外光谱透射比测量的难点之一是系统稳定性差。