对表面三维形貌测量技术展开了较为全面的研究，测量过程由相移，采样，相位提取及数据处理等部分组成．整个测量系统采用激光为干涉光源，CCD为图像传感器，压电陶瓷提供微小位移，通过图像采集卡将干涉条纹采集到计算机内存．文中采用上述理论对标准样块进行了测量，计算机得到表面三维形貌图，根据建立的基准面分离出粗糙度信息，并由给出的参数评定数学模型，编制出合理的软件，计算出零件表面的三维参数．最后给出实验结果和分析，并提出下一步研究工作的设想．