为了避免微加速度计在加工过程中，由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象，必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求，在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形，使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状．以一种梁一质量块结构的加速度计为模型，为了在加工过程中，得到完整的质量块结构，使结构具有更好的对称性，对各种凸角补偿方式进行了研究、利用（100）面硅片各向腐蚀速率的快慢特性和一定的几何知识，计算出各种凸角补偿方式最佳的补偿几何尺寸模型．这样，在设计加速度计制造工艺时，就可以直接利用这些尺寸模型，得到最佳的结构.

基于MEMS技术体硅工艺,提出一种新型大有效面积的连续变形反射镜的设计制造方法.依工艺流程中的实际情况与结果,分析了在制造过程中遇到的大面积腔体深腐蚀中凸角腐蚀和键合中小空隙粘合等关键问题,设计实施了T形补偿角、延长驱动线等解决方案.用此方法制造出有效反射面积30mm(30mm,最大变形量1.2μm,49驱动电极的新型变形反射镜.10-200V电压范围内得到的该变形反射镜镜面变形数据与模拟结果具有很好的一致性.