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超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究

作者: 欧阳渺安 来源:光学精密工程 日期: 2022-12-08 人气:2
超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究
研究了非球镜面模具直轴超精密磨削技术,给出了非球面镜面模具超精密加工机理、算法原理、软硬件结构、系统实现、工艺分析及实例应用,开发了小型超精密非球面镜面加工系统SGTCAM1.0。研究结果表明,系统原理正确,加工出的非球面光学零部件形状误差在100nm以下,表面粗糙度在5nm以下,达到纳米级加工精度。开发的系统使用方便,成本低。
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