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一种非接触式表面形貌测量系统的研究

作者: 张鄂 金增伟 来源:上海交通大学学报 日期: 2022-12-09 人气:8
一种非接触式表面形貌测量系统的研究
介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统,该系统采用了光学离焦原理中的象散法,从激光束光学中简洁的ABCD定律出发,分析并获得了系统的特性曲线,这比采用几何光学方法得到的结果更实际情况。
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