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> 象散法
一种非接触式表面形貌测量系统的研究
作者:
张鄂
金增伟
来源:
上海交通大学学报
日期: 2022-12-09
人气:8
介绍了一种非接触式的表面三维形貌测量系统,该系统采用了光学离焦原理中的象散法,从激光束光学中简洁的ABCD定律出发,分析并获得了系统的特性曲线,这比采用几何光学方法得到的结果更实际情况。
关键词:
光触针
象散法
表面形貌
非接触测量
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