报道了自行搭建的扫描探针电子能谱仪（sPEES）的离线数据处理系统。该系统是由国家仪器公司（National Instrument，NI）开发的图形化语言LabvIEw（Laboratory VirtualInstrument EngineeringWorkbench）来实现的，能够根据我们SPEES实验中能谱测量的不同模式（扫描模式和非扫描模式）来选择相应的处理模式。功能包括“文件批处理”、“方位角选择”、“原点校正”、“能量刻度”和“能谱处理及效率修正”，同时还能对电子密度分布、角分布、道数分布和能量分布成像。该系统的研制成功为sPEES实验的顺利进行打下了基础。