为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测，发展了斜入射检测方法，增大投射到待测镜上光斑的尺寸，从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜人射法检测平面反射镜面形的公式，并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量，垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根（RMS）和峰谷（PV）值分别为16．3nm和67．8nm，斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度RMS和PV值分别为16．8nm和68．7nm，相对误差分别为3％和0．9％，可以满足第三代同步辐射光束线的要求。