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基于Duolateral PSD的高精度光位置检测系统

作者: 刘鸿飞 王淦泉 陈桂林 来源:中国仪器仪表 日期: 2023-11-10 人气:3
基于Duolateral PSD的高精度光位置检测系统
精密机械加工业的发展对位置检测提出了更高的要求.Duolateral PSD(Position Sensitive Detector)克服了lateral PSD的测量错误率高、非线性严重等不足.系统实验的测量不确定度评定结果表明:基于Duolateral PSD的光位置测量系统具有位置分辨率高、测量精度高、性能稳定等特点,有广泛的应用前景.
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