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> 测量不确定麦
基于Duolateral PSD的高精度光位置检测系统
作者:
刘鸿飞
王淦泉
陈桂林
来源:
中国仪器仪表
日期: 2023-11-10
人气:3
精密机械加工业的发展对位置检测提出了更高的要求.Duolateral PSD(Position Sensitive Detector)克服了lateral PSD的测量错误率高、非线性严重等不足.系统实验的测量不确定度评定结果表明:基于Duolateral PSD的光位置测量系统具有位置分辨率高、测量精度高、性能稳定等特点,有广泛的应用前景.
关键词:
Duolateral
光位置检测
PSD
测量不确定麦
丝杠
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