近年来，国内外机械加工领域陆续研究开展低温加工方面的研究。本套装置将低温技术运用于超精密加工领域，通过液氮加热产生低温氮气的方法，为数控机床提供气压0—0．1MPa，温度-150℃—0℃连续可调，控温精度优于±2℃的低温氮气。文中对该装置系统流程和设计做了详细的介绍。经实验证明，本套装置完全达到技术指标，系统设计合理、结构简单、易于控制和操作。