为提高扫描隧道显微镜微驱动器的响应速度和定位精度，提出了一种基于自适应理论的控制方法。微驱动器采用压电陶瓷驱动，在分析其结构的基础上，建立了驱动器的简化运动模型，利用最小二乘法对驱动器参数进行了在线辨识。把自适应控制理论引入到微驱动器的控制中，在参数自校正PID控制律的作用下，实现了PID控制器参数的自动整定。采用专用的压电陶瓷驱动电源，进行了位移的测试实验。结果表明，参考位移量为12．39μm时，相对于传统PID控制，动态响应时间由3s缩短到1．4s，稳态位移误差由3．2％减小到2．7％。